潔凈室風(fēng)速檢測標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范要求

156次 2025.07.28

  潔凈室在諸多對環(huán)境要求嚴(yán)苛的行業(yè),如制藥、半導(dǎo)體、精密儀器制造等領(lǐng)域發(fā)揮著關(guān)鍵作用。風(fēng)速作為潔凈室環(huán)境控制的重要參數(shù)之一,直接關(guān)系到潔凈室的潔凈度維持以及生產(chǎn)工藝的順利進(jìn)行。潔凈室風(fēng)速檢測有哪些標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范要求?


潔凈室風(fēng)速檢測


  潔凈室風(fēng)速檢測標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范要求


  (1)單向流潔凈室


  垂直單向流:在垂直單向流潔凈室中,氣流以垂直方向自上而下勻速流動,猶如一層“空氣幕”,將室內(nèi)產(chǎn)生的污染物迅速帶離。此類潔凈室通常應(yīng)用于對潔凈度要求極高的區(qū)域,如半導(dǎo)體芯片制造的光刻工藝區(qū)、高等級無菌藥品生產(chǎn)的灌裝區(qū)等。其截面平均風(fēng)速一般要求≥0.25m/s,常見的風(fēng)速范圍在0.36-0.54m/s之間,該風(fēng)速范圍能夠有效保證氣流的單向性和均勻性,防止污染物在室內(nèi)的積聚和擴(kuò)散。例如,在一些高端半導(dǎo)體制造企業(yè)的潔凈室中,嚴(yán)格將垂直單向流風(fēng)速控制在0.4m/s左右,以確保芯片制造過程中不受微粒污染,從而提高芯片的良品率。


  水平單向流:水平單向流潔凈室的氣流沿著水平方向從送風(fēng)側(cè)流向回風(fēng)側(cè),在電子設(shè)備制造、醫(yī)療手術(shù)室等場所應(yīng)用廣泛。其截面平均風(fēng)速要求≥0.3m/s,穩(wěn)定且均勻的水平氣流能夠快速帶走工作區(qū)域產(chǎn)生的污染物,維持室內(nèi)的高潔凈度環(huán)境。以現(xiàn)代化的大型醫(yī)院手術(shù)室為例,采用水平單向流潔凈室設(shè)計,風(fēng)速保持在0.35m/s左右,極大地降低了手術(shù)過程中的感染風(fēng)險,為患者的手術(shù)安全提供了有力保障。


  風(fēng)速不均勻度:對于潔凈度高于5級的單向流潔凈室,對風(fēng)速不均勻度有嚴(yán)格要求。需使用熱球風(fēng)速儀等專業(yè)設(shè)備,在離高效過濾器0.3m處均勻布點(diǎn)(每2㎡不少于1點(diǎn))進(jìn)行檢測,計算得出的風(fēng)速不均勻度結(jié)果應(yīng)不大于0.25。風(fēng)速不均勻度過高可能導(dǎo)致局部區(qū)域出現(xiàn)氣流停滯或渦流現(xiàn)象,使污染物無法及時排出,進(jìn)而影響整個潔凈室的潔凈效果。


  (2)非單向流潔凈室(亂流潔凈室)


  非單向流潔凈室通過送風(fēng)口和回風(fēng)口的合理布置,使室內(nèi)空氣形成不規(guī)則的紊流狀態(tài),依靠足夠的換氣次數(shù)來稀釋和排除室內(nèi)污染物。其潔凈室風(fēng)速檢測標(biāo)準(zhǔn)主要通過換氣次數(shù)來體現(xiàn),不同等級的非單向流潔凈室換氣次數(shù)要求有所不同。例如,D級潔凈室換氣次數(shù)通常要求≥15次/h,C級潔凈室換氣次數(shù)要求更高,一般在20-25次/h之間。


  在制藥行業(yè)的普通藥品生產(chǎn)車間,常采用D級非單向流潔凈室,通過合理的空調(diào)通風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計,保證室內(nèi)換氣次數(shù)達(dá)到18次/h,有效控制了室內(nèi)的塵埃粒子和微生物數(shù)量,滿足藥品生產(chǎn)的環(huán)境要求。而在一些對環(huán)境要求稍高的藥品生產(chǎn)區(qū)域,如C級潔凈室,換氣次數(shù)保持在22次/h左右,為藥品生產(chǎn)提供了更優(yōu)質(zhì)的潔凈環(huán)境。


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